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氣體質(zhì)量流量計(jì)是利用熱擴(kuò)散原理測量氣體流量的儀表。傳感器由兩個(gè)基準(zhǔn)級熱電阻(RTD)組成。一個(gè)是速度傳感器RH,一個(gè)是測量氣體溫度變化的溫度傳感器RMG。當(dāng)這兩個(gè)RTD置于被測氣體中時(shí),其中傳感器RH被加熱,另一個(gè)傳感器RMG用于感應(yīng)被測氣體溫度。隨著氣體流速的增加,氣流帶走更多熱量,傳感器RH的溫度下降。熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)按安裝方式分為:插入式和管段式。
早期的TMF直接將加熱線圈和測溫元件放入流體中與流體直接接觸,是一種接觸式流量計(jì),由于不能解決嘴蝕和磨損以及防爆等問題,使它的工業(yè)應(yīng)用受很大的限制。托馬斯流量計(jì)是這種流量計(jì)的代表,主要用來測量較大流量的氣體質(zhì)量流量;到20世紀(jì)50年代,人們提出了一種與流體不接觸的邊界層流量計(jì),克服了接觸式流量計(jì)的缺點(diǎn),但測量結(jié)果易受介質(zhì)參數(shù)(如導(dǎo)熱系數(shù)、比熱容、粘度等)的影響,可以用來測量較大的液體流量;到70年代,基于測量流體溫度分布的熱分布型TMF,由于其獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)在國內(nèi)外得到了很快的發(fā)展,用來測量氣體的微小流量,隨著科技的發(fā)展,經(jīng)過對流量計(jì)結(jié)構(gòu)上的重新設(shè)計(jì),在接觸式流量計(jì)的基礎(chǔ)上,人們提出了一種浸人型的TMF,也得到了很快的發(fā)展,可以用來測量較大管徑的氣體流量。綜上所述,TMF是一種主要用來測量氣體質(zhì)量流量的直接式質(zhì)量流量計(jì)。
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